今回の記事では「電子ビーム描画装置」の、おすすめメーカーと価格相場について紹介します。
お問い合わせやお見積りのご相談は「お問い合わせフォーム」よりお願いいたします。
目次
電子ビーム描画装置の種類
電子ビーム描画装置とは、半導体製造で使用するフォトマスク（レチクル）に回路パターンを描画する工程で使用する産業用の機械です。
「電子線描画装置」や「電子ビーム露光装置」とも呼ばれます。電子ビームは「EB（Electron Beam）」と英語で略されることもあります。
光にくらべて、電子ビームは波長を非常に短くすることが可能です。そのため、ナノメートル（nm）サイズの超微細な回路パターンを描けます。1ナノメートルは、10億分の1メートルです。髪の毛の太さの10万分の1ほどの領域になります。
分類としては大きく3つに分けられ、以下のような違いがあります。
①スポットビーム（ポイントビーム）方式
電子銃から発射される電子ビームを、電子レンズで集束させてスポット（点）にします。非常に小さなスポットになるので、ほかの方式より微細な回路パターンを描くことが可能です。スポットが小さいぶん、描画スピードは遅くなります。試作や研究開発など少量生産向きです。
②可変成形ビーム（VSB）方式
VSBは「Variable Shaped Beam」の略です。電子銃から発射される電子ビームを、成形アパーチャと呼ばれる開口を通して矩形にします。スポット（点）ではなく面になるぶん、描画スピードが速いです。スポットビーム方式ほど微細な回路パターンは描けませんが、大量生産に向いています。
③キャラクタープロジェクション（CP）方式
CPは「Character Projection」の略です。電子銃から発射される電子ビームを、キャラクターアパーチャと呼ばれる開口を通して、H型やT型などさまざまな形状にします。ハンコを押すように回路パターンを描けるので、描画スピードが一番速いです。しかし可変ではないため、対応できない回路パターンには可変成形ビームを使用する必要があります。
お問い合わせやお見積りのご相談は「お問い合わせフォーム」よりお願いいたします。
電子ビーム描画装置を製造するおすすめメーカー
電子ビーム描画装置を扱う主要メーカーは、10社あります。その中でもおすすめのメーカーを3社ご紹介します。
株式会社ニューフレアテクノロジー（NuFlare）
東芝機械株式会社の半導体装置事業を継承して、2002年に設立されました。電子ビーム描画装置の開発は1975年からの歴史があります。世界シェア90%以上でトップを独走しています。海外売上比率も80%以上あり、世界の半導体製造を担っているリーディングカンパニーです。
株式会社エリオニクス （ELIONIX）
1975年設立。ナノテクノロジーの研究開発装置メーカーです。2つのCS「Challenge and Speed」「Customer Satisfaction」を基本姿勢に、最先端の研究開発装置をどこよりも早く提供してきました。国内のみならず世界の研究機関に納入実績があり、高い評価を得ています。
日本電子株式会社（JEOL）
1949年設立。電子顕微鏡が世界トップシェアの理化学機器メーカーです。電子顕微鏡の技術を応用して、電子ビーム描画装置も製造しています。世界最高レベルのスループットを実現するスポットビーム方式の装置などラインナップも豊富です。
お問い合わせやお見積りのご相談は「お問い合わせフォーム」よりお願いいたします。
電子ビーム描画装置の価格相場
電子ビーム描画装置の価格相場は非公開ですが、想定値は数億万円〜数十億円です。
スポットビーム（ポイントビーム）方式が比較的安価で、可変成形ビーム（VSB）方式やキャラクタープロジェクション（CP）方式は高価になります。
お問い合わせやお見積りのご相談は「お問い合わせフォーム」よりお願いいたします。
電子ビーム描画装置の選び方
一般的に量産品でスループットを重視するならば、可変成形ビーム（VSB）方式やキャラクタープロジェクション（CP）方式を組み合わせたものになります。特別に微細な回路パターンが求められる場合は、スポットビーム（ポイントビーム）方式が必要です。
お問い合わせやお見積りのご相談は「お問い合わせフォーム」よりお願いいたします。
電子ビーム描画装置のまとめ
今回の記事では電子ビーム描画装置について解説しました。今回の記事内容を簡単にまとめます。
- 電子ビーム描画装置とは半導体製造の工程で使用する産業用の機器
- フォトマスクに回路パターンを描画するのが主な役割である
- 「スポットビーム方式」や「可変成形ビーム方式」など、様々な種類がある
- 主要メーカーは「NuFlare」を筆頭に3社ほど（ただしトップシェアはNuFlareで、ほぼ市場を独占している）
- 電子ビーム描画装置の価格相場は、数億円～
お問い合わせやお見積りのご相談は「お問い合わせフォーム」よりお願いいたします。